| Spécification | A63.7140 | A63.7160 | |
| Paramètres clés | Résolution |
1.4nm@15kV(SE)
2.5nm@30.0kV(BSE)
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0.9nm@30kV(SE) 1.2nm@15kV(SE) 1.5nm@1kV(SE, mode BD)) |
| Tension d'accélération | 0.02kV〜30kV | 0.02kV〜30kV | |
| Grossissement | 1〜2000000x | 1〜2000000x | |
| Canon à électrons | Canon à émission de champ thermique Schottky | Canon à émission de champ thermique Schottky | |
| Courant de sonde | 1pA~40nA | 1pA~40nA | |
| Champ de vision | 6mm | 6mm | |
| Temps de résidence | 20ns | 20ns | |
| Déflexion du faisceau | -- | Système de déflexion à double faisceau : Système de déflexion à faisceau hybride électromagnétique et statique |
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| Lentille d'objectif | Système à double objectif : Lentille d'objectif magnétique et lentille d'objectif électrostatique, adaptable à l'échantillon magnétique |
Système à double objectif : Lentille d'objectif magnétique et lentille d'objectif électrostatique, adaptable à l'échantillon magnétique |
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| Diaphragme du canon | (10µm,30µm,70µm,100µm,150µm,220µm)*2 jeux (1 pour la sauvegarde), motorisé | (10µm,30µm,70µm,100µm,150µm,220µm)*2 jeux (1 pour la sauvegarde), motorisé | |
| Chambre | Taille de la chambre | Largeur 370mm, Hauteur 330mm, Profondeur 344mm | Largeur 370mm, Hauteur 330mm, Profondeur 344mm |
| Port d'extension | 10 ports | 10 ports | |
| Système de vide | 2 pompes ioniques 1 pompe turbomoléculaire 1 pompe mécanique sans huile |
2 pompes ioniques 1 pompe turbomoléculaire 1 pompe mécanique sans huile |
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| Vide du canon : 2x10-7Pa Vide de la chambre : 6x10-4Pa |
Vide du canon : 2x10-7Pa Vide de la chambre : 6x10-4Pa |
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| Platine | Platine automatique 5 axes, X:130mm, Y:130mm, Z:60mm, R: 360°, T: -10°〜70°, Charge maximale >500g | Platine automatique 5 axes, X:130mm, Y:130mm, Z:60mm, R: 360°, T: -10°〜70°, Charge maximale >500g | |
| Caméra | CCD de navigation couleur optique CCD IR haute définition |
CCD de navigation couleur optique CCD IR haute définition |
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| Détecteurs et extensions | Standard | Détecteur SE | Détecteur SE Détecteur SE Inlens |
| PC et logiciel | Ordinateur | Station de travail, Mémoire 16G, Disque dur 512G, Écran 24", Système Win10 | Station de travail, Mémoire 16G, Disque dur 512G, Écran 24", Système Win10 |
| Contrôle | Panneau de commande et joystick | Panneau de commande et joystick | |
| Logiciel | Mise au point automatique, Stigmateur automatique, Luminosité/contraste automatiques, Format d'image TIFF, JPG, PNG, BMP, Résolution de sortie d'image max 16k*16k | Mise au point automatique, Stigmateur automatique, Luminosité/contraste automatiques, Format d'image TIFF, JPG, PNG, BMP, Résolution de sortie d'image max 16k*16k | |
| Accessoires optionnels | A50.7101 | BSE | BSE |
| A50.7102 | - | BSE InLens | |
| A50.7103 | Spectroscopie à dispersion d'énergie (EDS/EDX) | Spectroscopie à dispersion d'énergie (EDS/EDX) | |
| A50.7104 | Diagramme de diffraction d'électrons rétrodiffusés (EBSD) | Diagramme de diffraction d'électrons rétrodiffusés (EBSD) | |
| A50.7105 | EDS+EBSD | EDS+EBSD | |
| A50.7106 | Microscopie électronique à transmission à balayage (STEM) | Microscopie électronique à transmission à balayage (STEM) | |
| A50.7107 | Courant induit par faisceau d'électrons (EBIC) | Courant induit par faisceau d'électrons (EBIC) | |
| A50.7108 | Cathodoluminescence (CL) | Cathodoluminescence (CL) | |
| A50.7109 | Plasma | Plasma | |
| A50.7110 | Sas, entrepôt d'échange d'échantillons | Sas, entrepôt d'échange d'échantillons | |
| A50.7111 | Blocage de faisceau | Blocage de faisceau | |
| A50.7120 | Logiciel d'assemblage de grandes images | Logiciel d'assemblage de grandes images | |
| A50.7121 | Logiciel d'analyse de particules | Logiciel d'analyse de particules | |
| A50.7112 | Porte-échantillon sous vide | Porte-échantillon sous vide | |
| A50.7113 | Système corrélatif Raman-SEM | Système corrélatif Raman-SEM | |
| A50.7115 | UPS | UPS | |
| A50.7114 | - | Filtre d'énergie intégré à la colonne ExB | |
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▶ Forte compatibilité, haute adaptabilité Peut être installé sur différents terminaux, tels que les ordinateurs, les téléphones portables et les tablettes, pour contrôler le microscope électronique ; Ce système d'exploitation de microscope électronique SEM-OS est compatible avec les SEM de différents fabricants et est compatible avec plusieurs modèles, élargissant l'écosystème SEM ▶ Logiciel et calcul intégrés, simples et efficaces Interface utilisateur unifiée, pas besoin de s'adapter à plusieurs reprises à différents terminaux ; Équipé d'algorithmes d'IA pour collecter des informations et présenter des effets de sortie en temps réel avec une qualité d'image plus claire et des détails plus proéminents ; Le noyau du SEM accélère le contrôle matériel |
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① Barre de menu, ② Zone d'opération rapide, ③ Barre de données, ④ Zone de surveillance, ⑤ Zone de navigation, ⑥ Zone complète, ⑦ Zone d'opération, ⑧ Zone d'état |
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Le microscope électronique à balayage de la série A63.7140/A63.7160 est équipé de tiges de transfert sous vide IGS, de spectromètres d'énergie EDS, de spectroscopie Raman et d'autres accessoires, fournissant une solution complète pour la recherche sur les batteries au lithium, de la préparation des échantillons à l'observation de la morphologie, en passant par l'analyse de la composition et l'analyse structurelle. |
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Étape 1:La tige de transfert est chargée sur la boîte à gants pour compléter le transfert de l'échantillon de la boîte à gants vers le compartiment de la tige de transfert. Étape 2:Le processus de transfert de l'échantillon implique le transfert de la pression positive à l'intérieur de la chambre de la tige pendant le processus de transfert. Étape 3:La tige de transfert est chargée sur le microscope électronique pour transférer l'échantillon de la chambre de la tige vers la chambre principale du microscope électronique. Étape 4:Prise de vue de l'échantillon et post-traitement des données, développement personnalisé selon les besoins de l'utilisateur. ▶ SEM + Spectromètre EDS + Tige de transfert sous vide + Spectroscopie Raman + Logiciel d'analyse Analyse structurelle | Analyse mécanistique | Table de déplacement de haute précision ▶ Compenser l'analyse de la structure moléculaire que la technologie EDS ne peut pas réaliser, et saisir de manière exhaustive la composition de l'échantillon ▶ Réaliser une commutation rapide entre l'axe optique Raman et l'axe du faisceau d'électrons, une analyse multidimensionnelle des caractéristiques de l'échantillon et un suivi en temps réel. L'évolution structurelle des matériaux pendant les processus de charge et de décharge, et l'étude approfondie de leurs mécanismes d'assistance ▶ Table de déplacement piézoélectrique de grande course, de haute précision et à haute vitesse, permettant l'acquisition de données intégrée à la même position, répondant à l'analyse de stabilité de la surface Raman confocale à long terme |