Microscope atomique de balayage plat de force

• La conception de tête de balayage de portique, la base de marbre, l'étape d'adsorption de vide, la dimension de l'échantillon et le poids sont fondamentalement illimités
• A62.4510 + scanner indépendant gyroscopique en circuit fermé de décalage de pression, qui peut balayer avec la haute précision dans un éventail
• Méthode de alimentation d'aiguille intelligente avec la détection automatique de la céramique piézoélectrique contrôlée par le moteur pour protéger des sondes et des échantillons
• Positionnement optique automatique, aucun besoin pour ajuster le foyer, observation en temps réel et positionnement du secteur de balayage d'échantillon de sonde
• Équipé du bouclier fermé en métal, table amortissante pneumatique, capacité anti-parasitage forte

          ◆Le premier microscope atomique commercial de force en Chine pour réaliser le balayage mobile combiné de la sonde et de l'échantillon ;

          ◆Le premier en Chine pour employer une table de balayage piézoélectrique de décalage de boucle fermée indépendante gyroscopique pour réaliser le balayage à haute précision à grande échelle ;

          ◆Le balayage indépendant gyroscopique, XYZ ne s'affecte pas, très approprié à la détection tridimensionnelle de matériel et de topographie ;

          ◆Contrôle électrique de table mobile témoin et de table élévatrice, qui peut être programmé avec la position multipoint réaliser la détection automatique rapide ;

          ◆Conception de tête de balayage de portique, base de marbre, adsorption de vide et étape magnétique d'adsorption ;

          ◆Le moteur contrôle automatique la méthode de alimentation d'aiguille intelligente de la détection automatique en céramique piézoélectrique pour protéger la sonde et l'échantillon ;

          ◆Positionnement optique auxiliaire de microscope de rapport optique élevé, observation en temps réel et positionnement de la sonde et du secteur de balayage d'échantillon ;

          ◆L'étape de balayage piézoélectrique en circuit fermé n'exige pas la correction non linéaire, et l'exactitude de caractérisation et de mesure de nanomètre est meilleure que 99,5%.

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• 	A62.4510	A62.4511
  Mode de travail	Mode de contact Mode de tapement [Facultatif] Mode de frottement Mode de phase Mode magnétique Mode électrostatique	Mode de contact Mode de tapement [Facultatif] Mode de frottement Mode de phase Mode magnétique Mode électrostatique
  Courbe actuelle de spectre	Courbe de RMS-Z F-Z Force Curve	Courbe de RMS-Z F-Z Force Curve
  Mode de balayage DE X/Y	Balayage conduit par sonde, Scanner piézo-électrique de tube	Balayage conduit par échantillon, étape piézoélectrique de balayage de décalage de boucle bloquée
  Chaîne DE X/Y de balayage	70×70um	Boucle bloquée 100×100um
  Résolution DE X/Y de balayage	0.2nm	Boucle bloquée 0.5nm
  Mode de balayage de Z		Balayage conduit par sonde
  Chaîne de balayage de Z	5um	5um
  Résolution de balayage de Z	0.05nm	0.05nm
  Vitesse de balayage	0.6Hz~30Hz	0.6Hz~30Hz
  Angle de balayage	0~360°	0~360°
  Poids témoin	≤15Kg	≤0.5Kg
  Taille d'étape	Dia.100mm [Facultatif] Dia.200mm Dia.300mm	Dia.100mm [Facultatif] Dia.200mm Dia.300mm
  Déplacement DE X/Y d'étape	100x100mm, résolution 1um [Facultatif] 200x200mm 300x300mm	100x100mm, résolution 1um [Facultatif] 200x200mm 300x300mm
  Déplacement de l'étape Z	15mm, résolution 10nm [Facultatif] 20mm 25mm	15mm, résolution 10nm [Facultatif] 20mm 25mm
  Conception amortissante	Suspension de ressort [Facultatif] Amortisseur actif	Suspension de ressort [Facultatif] Amortisseur actif
  Système optique	5x objectif 5.0M Digital Camera [Facultatif] 10x objectif 20x objectif	5x objectif 5.0M Digital Camera [Facultatif] 10x objectif 20x objectif
  Sortie	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0
  Logiciel	Victoire XP/7/8/10	Victoire XP/7/8/10
  Principal organisme	Tête de balayage de portique, base de marbre	Tête de balayage de portique, base de marbre

• Microscope	Microscope optique	Microscope électronique	Microscope de balayage de sonde
  Max Resolution (um)	0,18	0,00011	0,00008
  Remarque	1500x à immersion dans l'huile	Atomes de carbone de diamant de représentation	Atomes de carbone graphitiques d'ordre élevé de représentation

• Interaction de Sonde-échantillon	Signal de mesure	L'information
  Force	Force électrostatique	Forme
  Courant de tunnel	Actuel	Forme, conductivité
  Force magnétique	Phase	Structure magnétique
  Force électrostatique	Phase	distribution de charge

• 	Résolution	Condition de travail	Temperation fonctionnant	Damge à prélever	Profondeur d'inspection
  SPM	Atom Level 0.1nm	Normal, liquide, vide	Pièce ou bas Temperation	Aucun	1~2 Atom Level
  TEM	Point 0.3~0.5nm Trellis 0.1~0.2nm	Vide poussé	Pièce Temperation	Petit	Habituellement <100nm>
  SEM	6-10nm	Vide poussé	Pièce Temperation	Petit	10mm @10x 1um @10000x
  FIM	Atom Level 0.1nm	Vide poussé superbe	30~80K	Damge	Atom Thickness

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