| A63. Je vous en prie.7080, A63.7081 Fonction principale du logiciel | ||
| Mise en service intégrée à haute tension | Filament automatique allumé / éteint | Régulation des changements potentiels |
| Réglage de la luminosité | Réglage électrique à la centrale | Lumière automatique |
| Réglage du contraste | Réglage de la lentille | Focalisation automatique |
| Réglage de l'agrandissement | Dégaussage objectif | Élimination automatique de l'astigmatisme |
| Mode de numérisation de zone sélectionné | Réglage électrique de la rotation | Gestion des paramètres du microscope |
| Mode de numérisation des points | Réglage du déplacement du faisceau d'électrons | Affichage en temps réel de la taille du champ de balayage |
| Mode de numérisation des lignes | Réglage de l'inclinaison du faisceau d'électrons | Réglage de la lentille du pistolet |
| Scanner de surface | Réglage de la vitesse de balayage | Entrée multicanal |
| Surveillance de la puissance haute tension | Centrage par balancement | Mesure de la règle |
| Le SEM | A63. Je vous en prie.7069 A63.7069-L A63.7069-LV |
A63. Je vous en prie.7080 A63.7080-L |
A63. Je vous en prie.7081 |
| Résolution | Le nombre total d'électrons émis par la centrale électrique est le suivant: Le nombre d'émissions de CO2 est déterminé par la fréquence d'émission. |
1.5nm@30KV ((SE) Le nombre de fois où les données sont utilisées |
1.0nm@30KV ((SE) 3.0nm@1KV ((SE) 2Le système de freinage doit être équipé d'un dispositif de freinage. |
| Magnification | 1 x ~ 450000 x,Magnification réelle négative | 1x~600000x, grossissement négatif vrai | 1x~3000000x Magnification réelle négative |
| Pistolet électronique | Cartouche de filament de tungstène précentré | Pistolet à émission de champ Schottky | Pistolet à émission de champ Schottky |
| Voltage | Voltage d'accélération 0.2Je ne sais pas.30 kV, réglable en continu, étape d'ajustement 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
| Vue rapide | Fonction de vue rapide d'image d'une touche | N/A | N/A |
| Système de lentilles | Lentilles coniques électromagnétiques à trois niveaux | Lentilles coniques électromagnétiques à plusieurs niveaux | |
| L'ouverture | 3 ouvertures d'objectif en molybdène, réglables en dehors du système de vide, pas besoin de démonter l'objectif pour changer l'ouverture | ||
| Système à vide | 1 pompe moléculaire turbo 1 Pompes mécaniques Vacuum de la salle d'échantillonnage> 2,6 E-3 Pa Vacuum de la salle des armes à électrons > 2,6E-3Pa Contrôle automatique du vide Fonction de verrouillage sous vide Modèle facultatif: A63.7069-LV 1 pompe moléculaire turbo 2Pompes mécaniques Vacuum de la salle d'échantillonnage> 2,6 E-3 Pa Vacuum de la salle des armes à électrons > 2,6E-3Pa Contrôle automatique du vide Fonction de verrouillage sous vide Faible videDimension de 10 à 270 Pa pour la commutation rapide en 90 secondes pour l'ESB |
1 ensemble de pompes ioniques 1 pompe moléculaire turbo 1 Pompes mécaniques Vacuum de la salle d'échantillonnage> 6E-4Pa Pour les armes à feu à électrons, le vide de la pièce> 2E-7 Pa Contrôle automatique du vide Fonction de verrouillage sous vide |
1 Pompes à ions par pulvérisation 1 Pompes à ions Getter 1 pompe moléculaire turbo 1 Pompes mécaniques Vacuum de la salle d'échantillonnage> 6E-4Pa Pour les armes à feu à électrons, le vide de la pièce> 2E-7 Pa Contrôle automatique du vide Fonction de verrouillage sous vide |
| Détecteur | SE: Détecteur d'électrons secondaire à vide élevé (avec protection contre le détecteur) | SE: Détecteur d'électrons secondaire à vide élevé (avec protection contre le détecteur) | SE: Détecteur d'électrons secondaire à vide élevé (avec protection contre le détecteur) |
| BSE: Ségmentation des semi-conducteurs 4 Détecteur de rétrécissement |
Optionnel | Optionnel | |
| Modèle facultatif: A63.7069-LV Épidémie d'ESB: Semi-conducteurs 4 Segmentation Détecteur de rétrécissement |
|||
| Le CCD:Caméra CCD infrarouge | Le CCD:Caméra CCD infrarouge | Le CCD:Caméra CCD infrarouge | |
| Étendre le port | 2 Étendre les ports sur la salle d'échantillonnage pour EDS, BSD, WDS, etc. Il est également possible d'utiliser des systèmes de détection des déchets. |
4 Étendre les ports sur la salle d'échantillonnage pour L'ESB, le SDE, le SDS, le SDS, etc. |
4 Étendre les ports sur la salle d'échantillonnage pour L'ESB, le SDE, le SDS, le SDS, etc. |
| Étape du prélèvement | 5 axes étape, 4Automobile+ 1Le manuelContrôle Autonomie de déplacement: X = 70 mm, Y = 50 mm, Z = 45 mm, R=360°, T=-5°~+90° (voir le manuel) Touchez la fonction d'alerte et d'arrêt Modèle facultatif: A63.7069-L5 axes Auto grande scène |
5 AxesAutomobile Au milieuLa scène Autonomie de déplacement: X = 80 mm, Y = 50 mm, Z = 30 mm, R=360°, T=-5° à +70° Touchez la fonction d'alerte et d'arrêt Modèle facultatif: A63.7080-L5 AxesAutomobile Les plus grosLa scène |
5 AxesAutomobile Les plus grosLa scène Autonomie de déplacement: X = 150 mm, Y = 150 mm, Z = 60 mm, R=360°, T=-5° à +70° Touchez la fonction d'alerte et d'arrêt |
| Exemplaire maximal | Dia. 175 mm, hauteur 35 mm | Dia. 175 mm, hauteur 20 mm | Diamètre 340 mm, hauteur 50 mm |
| Système d'image | Une image fixe réelle à résolution maximale de 4096 x 4096 pixels, Format du fichier image: BMP (par défaut), GIF, JPG, PNG, TIF |
Réelle image fixe résolution maximale 16384 x 16384 pixels, Format de fichier d'image: TIF (par défaut), BMP, GIF, JPG, PNG Vidéo: Enregistrement automatique numérique. |
Réelle image fixe résolution maximale 16384 x 16384 pixels, Format de fichier d'image: TIF (par défaut), BMP, GIF, JPG, PNG Vidéo: Enregistrement automatique numérique. |
| Ordinateur et logiciels | PC Work Station Win 10 Système, avec un logiciel professionnel d'analyse d'image pour contrôler complètement l'ensemble du fonctionnement du microscope SEM, Spécification de l'ordinateur pas moins d'Inter I5 3,2 GHz, mémoire 4G,Moniteur LCD IPS de 24 pouces, 500G Disque dur, souris, clavier | ||
| Affichage des photos | Le niveau d'image est riche et méticuleux, montrant en temps réel l'agrandissement, la règle, la tension, la courbe grise | ||
| Dimension & Poids |
Corps du microscope 800x800x1850 mm Tableau de travail 1340x850x740 mm Poids total de 400 kg |
Corps du microscope 800 x 800 x 1480 mm Tableau de travail 1340x850x740 mm Poids total 450 kg |
Corps du microscope 1000x1000x1730 mm Tableau de travail 1330x850x740 mm Poids total de 550 kg |
| Accessoires facultatifs | |||
| Accessoires facultatifs | A50. Je vous en prie.7002Spectromètre à rayons X dispersant l'énergie EDS A50. Je vous en prie.7011Le revêtement à pulvérisation ionique |
A50. Je vous en prie.7001Détecteur d'électrons de rétréditionnement de l'ESB A50. Je vous en prie.7002Spectromètre à rayons X dispersant l'énergie EDS A50. Je vous en prie.7011Le revêtement à pulvérisation ionique A50. Je vous en prie.7030Panneau de commande motorisé |
A50. Je vous en prie.7001Détecteur d'électrons de rétréditionnement de l'ESB A50. Je vous en prie.7002Spectromètre à rayons X dispersant l'énergie EDS A50. Je vous en prie.7011Le revêtement à pulvérisation ionique A50. Je vous en prie.7030Panneau de commande motorisé |
| A50. Je vous en prie.7001 | Détecteur d'ESB | un détecteur de rétrécissement à quatre segments de semi-conducteurs; Disponible dans les ingrédients A+B, Morphology Info A-B; Observer les échantillons disponibles sans pulvériser de l'or; Disponible dans l'observation de l'impureté et de la distribution directement à partir de la carte de l'échelle de gris. |
| A50. Je vous en prie.7002 | EDS (détecteur de rayons X) | La fenêtre du nitrure de silicium (Si3N4) pour optimiser la transmission des rayons X à basse énergie pour l'analyse des éléments légers; L'excellente résolution et leur électronique avancée à faible bruit offrent des performances de débit exceptionnelles; La petite empreinte offre une certaine souplesse pour assurer une géométrie idéale et des conditions de collecte optimales; Les détecteurs contiennent une puce de 30 mm2. |
| A50. Je vous en prie.7003 | EBSD (diffraction de faisceau d'électrons à rétrécissement) | L'utilisateur pourrait analyser l'orientation cristalline, la phase cristalline et la micro-texture des matériaux et les performances des matériaux connexes, etc. Optimisation automatique des paramètres de la caméra EBSD pendant la collecte des données, effectuer une analyse interactive en temps réel pour obtenir le maximum d'informations toutes les données ont été marquées avec une étiquette de temps, qui peut être consultée à tout moment haute résolution 1392 x 1040 x 12 Vitesse de balayage et d'indexation: 198 points/seconde, avec Ni comme norme, dans des conditions de 2 à 5nA, il peut assurer le taux d'indexation ≥99%; fonctionne bien dans les conditions de faible courant de faisceau et de faible tension de 5 kV à 100 pA précision de mesure de l'orientation: meilleure que 0,1 degré Utilisation du système d' index triplex: pas besoin de se fier à la définition de bande unique, indexation facile de la mauvaise qualité des motifs base de données dédiée: base de données spéciale EBSD obtenue par diffraction électronique: > 400 structures de phase Capacité d'indexation: il peut automatiquement indexer tous les matériaux cristallins de 7 systèmes cristallins. Les options avancées comprennent le calcul de la rigidité élastique (Elastic Stiffness), le facteur Taylor (Taylor), le facteur Schmidt (Schmidt) et ainsi de suite. |
| A50. Je vous en prie.7010 | Machine de revêtement | Équipement de protection par verre: 250 mm; hauteur 340 mm; Chambre de traitement du verre: ¥88mm; 140mm haut, ¥88mm; 57mm haut; Taille du stade de l'échantillon: 40 mm (maximum); Système sous vide: pompe moléculaire et pompe mécanique; Détection du vide: mesureur Pirani; Les caractéristiques suivantes sont nécessaires: Protection contre le vide:20 Pa avec vanne de gonflement à micro-échelle; Mouvement de l'échantillon: rotation du plan, précession de l'inclinaison. |
| A50. Je vous en prie.7011 | Le revêtement à pulvérisation ionique | Chambre de traitement du verre: 100 mm; hauteur 130 mm; Taille de l'étape de l'échantillon: 40 mm (à contenir 6 tasses d'échantillon); La taille de la cible dorée est de 58 mm*0,12 mm (épaisseur); Détection du vide: mesureur Pirani; Protection contre le vide:20 Pa avec vanne de gonflement à micro-échelle; Gaz moyen: argon ou air avec entrée d'air spéciale de gaz d'argon et régulateur de gaz à l'échelle microscopique. |
| A50. Je vous en prie.7012 | Couche de pulvérisation d'ions d'argon | L' échantillon a été plaqué avec du carbone et de l' or sous vide. Tableau d'échantillonnage rotatif, revêtement uniforme, taille des particules environ 3-5 nm; Aucune sélection du matériau cible, aucun dommage aux échantillons; Les fonctions de nettoyage des ions et d'amincissement des ions peuvent être réalisées. |
| A50. Je vous en prie.7013 | Sécheuse de point critique | Pour les véhicules de type à moteur électrique, la valeur de l'indicateur d'alimentation doit être supérieure ou égale à: la pression est comprise entre 0 et 2000 psi; Plage de température: 0° à 50° C (32° à 122° F) |
| A50. Je vous en prie.7014 | Lithographie par faisceau électronique | Sur la base du microscope électronique à balayage, un nouveau système de nano-exposition a été développé; La modification a conservé toutes les fonctions de sem pour faire une image de largeur de ligne à l'échelle nanométrique; Le système Ebl modifié est largement appliqué dans les dispositifs microélectroniques, les dispositifs optoélectroniques, les dispositifs quantiques, la R & D des systèmes microélectroniques. |
| A63. Je vous en prie.7080, A63.7081 Équipement de consommables standard | |||
| 1 | Filament d'émission de champ | Installé au microscope | 1 Pc |
| 2 | Coupe d'échantillon | Diamètre 13 mm | 5 pièces |
| 3 | Coupe d'échantillon | Dia.32 mm | 5 pièces |
| 4 | Ruban conducteur à double face au carbone | 6 mm | 1 Paquet |
| 5 | Graisse sous vide | 10 pièces | |
| 6 | Tissu sans poils | 1 tube | |
| 7 | Pâte de polissage | 1 Pc | |
| 8 | Boîte d'échantillon | 2 sacs | |
| 9 | Écouvillons de coton | 1 Pc | |
| 10 | Filtre à brouillard de pétrole | 1 Pc | |
| A63. Je vous en prie.7080, A63.7081 Équipement standard pour outils et pièces détachées | |||
| 1 | Appareil de fermeture à hexagone interne | 1.5 mm à 10 mm | 1 série |
| 2 | Des pinces | Longueur 100-120 mm | 1 Pc |
| 3 | Détecteur de vis à fente | 2*50 mm, 2*125 mm | 2 pièces |
| 4 | Détecteur de vis croisé | 2 fois 125 mm | 1 Pc |
| 5 | tuyau de ventilation propre | Le diamètre est supérieur ou égal à 10/6,5 mm. | 5 m |
| 6 | Valve de réduction de la pression de ventilation | Pression de sortie de 0 à 0,6 MPa | 1 Pc |
| 7 | Énergie de cuisson interne | 0-3A courant continu | 2 pièces |
| 8 | Appareil d'alimentation sous tension | 10 kVA | 2 pièces |
| Instruments de préparation d'échantillons au microscope électronique à balayage | ||