| Fonction principale du logiciel A63.7069 | ||
| Règlement à haute pression | Ligne verticale balayage | Règlement potentiel de décalage |
| Règlement actuel de filament | Ajustement de condensateur | Mesure multi d'échelle |
| Ajustement astigmate | Électrique à l'ajustement central | Éclat/contraste automatiques |
| Ajustement d'éclat | Ajustement de lentille objective | Foyer automatique |
| Ajustement de contraste | Prévision de photo | Élimination automatique d'astigmatisme |
| Ajustement de rapport optique | Règle active | Ajustement automatique de filament |
| Mode de balayage de zone choisie | Arrangement de vitesse de balayage 4 | Gestion des paramètres |
| Mode de balayage de point | Inversion de lentille objective | Instantané d'image, congélation d'image |
| Balayage extérieur | Inversion de condensateur | Une vue rapide principale |
| Trait horizontal balayage | Ajustement électrique de rotation | |
| SEM | A63.7069 | A63.7080 | A63.7081 |
| Résolution | 3nm@30KV (SE) 6nm@30KV (ESB) |
1.5nm@30KV (SE) 3nm@30KV (ESB) |
1.0nm@30KV (SE) 3.0nm@1KV (SE) 2.5nm@30KV (ESB) |
| Rapport optique | rapport optique 8x~300000x vrai-négatif | rapport optique 8x~800000x vrai-négatif | rapport optique 6x~1000000x vrai-négatif |
| Canon électronique | Cartouche Pré-centrée de filament de tungstène | Arme à feu d'émission de champ de Schottky | Arme à feu d'émission de champ de Schottky |
| Tension | La tension de accélération 0~30KV, réglable continu, ajustent l'étape 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
| Vue rapide | Une fonction rapide principale d'image de vue | NON-DÉTERMINÉ | NON-DÉTERMINÉ |
| Système de lentille | lentille conique électromagnétique de Trois-niveaux | lentille conique électromagnétique de Multi-niveaux | |
| Ouverture | 3 ouvertures objectives de molybdène, extérieur réglable de système de vide, aucun besoin démontent l'objectif pour changer l'ouverture | ||
| Système de vide | 1 pompe moléculaire de Turbo 1 pompe mécanique Salle Vacuum>2.6E-3Pa témoin Salle Vacuum>2.6E-3Pa de canon électronique Contrôle entièrement automatique de vide Fonction de couplage de vide Modèle facultatif : A63.7069-LV 1 pompe moléculaire de Turbo 2 pompes mécaniques Salle Vacuum>2.6E-3Pa témoin Salle Vacuum>2.6E-3Pa de canon électronique Contrôle entièrement automatique de vide Fonction de couplage de vide Basse chaîne 10~270Pa de vide pour le commutateur rapide en 90 secondes pour ESB (BT) |
1 Ion Pump Set 1 pompe moléculaire de Turbo 1 pompe mécanique Salle Vacuum>6E-4Pa témoin PA de salle Vacuum>2E-7 de canon électronique Contrôle entièrement automatique de vide Fonction de couplage de vide |
1 pulvérisez Ion Pump 1 acquéreur Ion Compound Pump 1 pompe moléculaire de Turbo 1 pompe mécanique Salle Vacuum>6E-4Pa témoin PA de salle Vacuum>2E-7 de canon électronique Contrôle entièrement automatique de vide Fonction de couplage de vide |
| Détecteur | Se : Détecteur électronique secondaire de vide poussé (avec la protection de détecteur) | Se : Détecteur électronique secondaire de vide poussé (avec la protection de détecteur) | Se : Détecteur électronique secondaire de vide poussé (avec la protection de détecteur) |
| ESB : Segmentation du semi-conducteur 4 Détecteur arrière de dispersion Modèle facultatif : A63.7069-LV ESB (BT) : Segmentation du semi-conducteur 4 Détecteur arrière de dispersion |
Facultatif | Facultatif | |
| CCD : Caméra CCD infrarouge | CCD : Caméra CCD infrarouge | CCD : Caméra CCD infrarouge | |
| Prolongez gauche | 2 prolongez les ports sur la pièce témoin pour EDS, schéma, WDS etc. |
4 prolongez les ports sur la pièce témoin pour ESB, EDS, schéma, WDS etc. |
4 prolongez les ports sur la pièce témoin pour ESB, EDS, schéma, WDS etc. |
| Étape de spécimen | Étape de 5 haches, automatiques contrôle 4 +1 manuel Chaîne de voyage : X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90° (manuel) Alerte de contact et fonction d'arrêt |
Étape moyenne automatique de 5 haches Chaîne de voyage : X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Alerte de contact et fonction d'arrêt Modèle facultatif : A63.7080-M 5 diminue l'étape manuelle A63.7080-L 5 diminue la grande étape automatique |
Étape automatique de 5 haches grande Chaîne de voyage : X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Alerte de contact et fonction d'arrêt |
| Max Specimen | Dia.175mm, taille 35mm | Dia.175mm, taille 20mm | Dia.340mm, taille 50mm |
| Système d'image | Vrais pixels immobiles de Max Resolution 4096x4096 d'image, Format de fichier image : BMP (défaut), GIF, JPG, png, TIF |
Vrais pixels immobiles de Max Resolution 16384x16384 d'image, Format de fichier image : TIF (défaut), BMP, GIF, JPG, png Vidéo : Disque automatique Digital. AVI Video |
Vrais pixels immobiles de Max Resolution 16384x16384 d'image, Format de fichier image : TIF (défaut), BMP, GIF, JPG, png Vidéo : Disque automatique Digital. AVI Video |
| Ordinateur et logiciel | Système de la victoire 10 du poste de travail de PC, avec le logiciel d'analyse d'image professionnel pour commander entièrement SEM Microscope Operation entier, spécifications I5 pas moins qu'inter 3.2GHz, 4G mémoire, 24" d'ordinateur moniteur d'affichage à cristaux liquides d'IPS, 500G disque dur, souris, clavier | ||
| Affichage de photo | Le niveau d'image est Rich And Meticulous, montrant le rapport optique en temps réel, règle, tension, Gray Curve | ||
| Dimension Et poids |
Corps de microscope 800x800x1850mm Tableau de fonctionnement 1340x850x740mm Poids total 400Kg |
Corps de microscope 800x800x1480mm Tableau de fonctionnement 1340x850x740mm Poids total 450Kg |
Corps de microscope 1000x1000x1730mm Tableau de fonctionnement 1330x850x740mm Poids total 550Kg |
| Accessoires facultatifs | |||
| Accessoires facultatifs | Spectromètre de rayon X dispersif d'énergie d'A50.7002 EDS A50.7011 Ion Sputtering Coater |
Dos d'A50.7001 ESB dispersant le détecteur électronique Spectromètre de rayon X dispersif d'énergie d'A50.7002 EDS A50.7011 Ion Sputtering Coater A50.7030 motorisent le panneau de commande |
Dos d'A50.7001 ESB dispersant le détecteur électronique Spectromètre de rayon X dispersif d'énergie d'A50.7002 EDS A50.7011 Ion Sputtering Coater A50.7030 motorisent le panneau de commande |
| A50.7001 | Détecteur d'ESB | Détecteur arrière quadripartite de dispersion de semi-conducteur ; Disponible en ingrédients A+B, A-B de l'information de morphologie ; L'échantillon disponible observent sans or de pulvérisation ; Disponible observez dedans l'impureté et la distribution de la carte de gamme de gris directement. |
| A50.7002 | EDS (X Ray Detector) | Fenêtre du nitrure de silicium (Si3N4) pour optimiser la transmission de rayon X de basse énergie pour l'analyse légère d'élément ; Excellente résolution et leur électronique à faible bruit avancée fournir la représentation exceptionnelle de sortie ; La petite empreinte de pas offre la flexibilité d'assurer des états idéaux de la géométrie et de collection d'Aata ; Les détecteurs contiennent une puce 30mm2. |
| A50.7003 | EBSD (diffraction rétrodiffusée de faisceau d'électrons) | l'utilisateur pourrait l'orientation en cristal d'analyse, la phase en cristal et la texture micro des matériaux et la représentation relative de matériaux, etc. optimisation automatique des arrangements de caméra d'EBSD pendant la collecte de données, faites l'analyse en temps réel interactive pour obtenir l'information maximum toutes les données ont été stigmatisées avec l'étiquette de temps, qui peut être regardée à tout moment haute résolution 1392 x X12 1040 Vitesse de balayage et d'index : 198 points/sec, avec du Ni comme norme, dans l'état de 2~5nA, elle peut assurer le taux ≥99% d'index ; travaux bien dans l'état de la basse tension actuelle et basse de poutre de 5kV à 100pA exactitude de mesure d'orientation : Meilleur que 0,1 degrés Utilisant le système triple d'index : aucun besoin compter sur la définition simple de bande, indexation facile de qualité pauvre de modèle base de données consacrée : Base de données spéciale d'EBSD obtenue par diffraction d'électrons : structure de la phase >400 Indexez la capacité : elle peut automatiquement indexer tous les matériaux en cristal de 7 systèmes en cristal. Les options avancées incluent calculer la rigidité élastique (rigidité élastique), facteur de Taylor (Taylor), facteur de Schmidt (Schmid) et ainsi de suite. |
| A50.7010 | Machine de revêtement | Shell protecteur en verre : ∮250mm ; 340mm hauts ; Chambre de traitement en verre : ∮88mm ; haute de 140mm, ∮88mm ; 57mm hauts ; Taille d'étape de spécimen : ∮40mm (maximum) ; Système de vide : pompe de molecula et pompe mécanique ; Détection de vide : Mesure de Pirani ; Vide : meilleur que PA 2 x 10-3 ; Protection de vide : PA 20 avec la valve d'inflation de micro-échelle ; Mouvement de spécimen : Rotation plate, précession d'inclinaison. |
| A50.7011 | Ion Sputtering Coater | Chambre de traitement en verre : ∮100mm ; 130mm haut ; Taille d'étape de spécimen : ∮40mm (tasses de spécimen de prise 6) ; Taille d'or de cible : ∮58mm*0.12mm (épaisseur) ; Détection de vide : Mesure de Pirani ; Protection de vide : PA 20 avec la valve d'inflation de micro-échelle ; Gaz moyen : l'argon ou air avec l'entrée d'air spéciale de gaz d'argon et gaz réglant dans la micro-échelle. |
| A50.7012 | L'argon Ion Sputtering Coater | L'échantillon a été plaqué avec le carbone et l'or sous le vide poussé ; Tableau rotatif témoin, revêtement uniforme, dimension particulaire au sujet de 3-5nm ; Aucune sélection de matériel de cible, aucun dommages aux échantillons ; Les fonctions d'Ion Cleaning And Ion Thinning peuvent être réalisées. |
| A50.7013 | Dessiccateur de point critique | Diamètre intérieur : 82mm, longueur intérieure : 82mm ; Chaîne de pression : 0-2000psi ; Température ambiante : 0°-50° C (32°-122° F) |
| A50.7014 | Lithographie de faisceau d'électrons | Basé sur le microscope à balayage électronique, un système nouveau de Nano-exposition a été développé ; Le Modificaton a gardé tous la ligne image de Sem Functions For Making Nanoscale de largeur ; Le système Widly de Modificated Ebl appliqué dans les dispositifs microélectroniques, dispositifs optoélectroniques, dispositifs de Quantun, système R&D de la microélectronique. |
| Équipement standard des consommables A63.7069 | |||
| 1 | Filament de tungstène | Pré-centré, importé | 1 boîte (5 PCs) |
| 2 | Tasse témoin | Dia.13mm | 5 PCs |
| 3 | Tasse témoin | Dia.32mm | 5 PCs |
| 4 | Bande conductrice double face de carbone | 6mm | 1 paquet |
| 5 | Graisse de vide | 10 PCs | |
| 6 | Tissu chauve | 1 tube | |
| 7 | Pâte de polissage | 1 PC | |
| 8 | Boîte témoin | 2 sacs | |
| 9 | Tampon de coton | 1 PC | |
| 10 | Filtre de brouillard d'huile | 1 PC | |
| Les outils A63.7069 et les pièces standard équipent | |||
| 1 | Clé intérieure d'hexagone | 1.5mm~10mm | 1 ensemble |
| 2 | Brucelles | Longueur 100-120mm | 1 PC |
| 3 | Tournevis encoché | 2*50mm, 2*125mm | 2 PCs |
| 4 | Tournevis croisé | 2*125mmm | 1 PC |
| 5 | Solvant de diaphragme | 1 PC | |
| 6 | Rod de nettoyage | 1 PC | |
| 7 | Outil d'ajustement de filament | 1 PC | |
| 8 | Filament ajustant la garniture | PC 3 | |
| 9 | Extracteur de tube | 1 PC | |
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