|
▶A64.5401 comporte 1) Le logiciel de mesure et d'analyse avec l'opération intégrée n'a pas besoin de commuter l'interface pour l'opération, et les paramètres de configuration sont placés à l'avance avant la mesure. Le logiciel compte automatiquement les données de mesure et fournit la fonction d'exportation de rapport de données, qui peut rapidement réaliser la fonction de mesure en lots. 2) Fournissez la fonction automatique de mesure de multi-secteur, la mesure en lots, le foyer automatique, l'ajustement automatique d'éclat et d'autres fonctions automatiques. 3) Fonction piquante de mesure Provide. 4) Fournissez les fonctions informatiques des quatre modules de l'ajustement de position, de la correction, du filtrage et de l'extraction. L'ajustement de position inclut des fonctions telles que l'image nivelant et reflétant ; la correction inclut des fonctions telles que le filtrage spatial, retoucher, et denoising maximal ; le filtrage inclut des fonctions telles que le retrait de forme, la norme filtrant, et le filtrage spectral ; l'extraction inclut des fonctions telles qu'extraire des régions et extraire des profils. 5) Fournissez cinq fonctions importantes d'analyse comprenant l'analyse géométrique de profil, l'analyse de rugosité, l'analyse de structure, l'analyse de fréquence et l'analyse de fonction. Parmi elles, l'analyse géométrique de profil inclut des caractéristiques telles que la taille d'étape, la distance, l'angle, la courbure et d'autres fonctions, et la rectitude, l'évaluation de tolérance d'arrondi et d'autres fonctions ; l'analyse de rugosité inclut la ligne rugosité selon les normes internationales ISO4287, l'aspérité ISO25178, ISO12781 nivelant le degré et d'autres fonctions d'analyse de plein-paramètre ; l'analyse de la structure inclut le volume de pore et la profondeur de cuvette, etc. ; l'analyse de fréquence inclut des fonctions telles que la direction de texture et l'analyse du spectre ; l'analyse fonctionnelle inclut des fonctions telles que des paramètres de SK et des paramètres de volume. 6) Fournissez les fonctions auxiliaires d'analyse telles que l'analyse d'un-clé et analyse multifichier, calibres réglés d'analyse, combinés avec les fonctions automatiques de mesure et de mesure en lots fournies dans la mesure, elle peut réaliser la mesure en lots des dispositifs de petite taille de précision et directement obtenir les données d'analyse. |
|
Le microscope Confocal est un instrument de essai utilisé pour la mesure de nanomètre de divers dispositifs et matériaux de précision. Il est basé sur le principe de la technologie confocal, combiné avec la technologie poreuse de balayage parallèle de disque, le module de balayage précis de Z-direction, le 3D modelant l'algorithme, etc. pour effectuer le balayage de non contact sur la surface du dispositif et pour établir une image 3D extérieure. L'image 3D de la surface de dispositif est exécutée par le logiciel système. L'informatique et analyse, et obtenez le 2D et les paramètres 3D reflétant la qualité extérieure du dispositif, afin de réaliser l'instrument optique d'inspection pour la mesure 3D de la topographie extérieure du dispositif. |
| Feuille de spécification technique Confocal du microscope A64.5401 | ||
| Principe de mesure | Système optique Confocal | |
| Lentille objective de microscope | 10× (norme), 20×, 50×, 100× (facultatifs) | |
| Champ visuel | 160×160 μm~1.6×1.6 millimètre | |
| Cadre de balayage rate*1 | ≥10HZ | |
| Mesure de taille | Repeatability*2 | 20× : 40nm ; 50× : 20nm ; 100× : 20nm |
| Accuracy*2 | μm du ± (0.2+L/100) | |
| Résolution d'affichage | 0.5nm | |
| Mesure de largeur | repeatability*3 | 20× : 100nm ; 50× : 50nm ; 100× : 30nm |
| Accuracy*3 | ± 2% | |
| Résolution d'affichage | 1nm | |
| Plate-forme DE X/Y de déplacement | taille | 210×210 millimètre |
| Chaîne de déplacement | 100×100 millimètre | |
| Charge | 10kg | |
| Méthode de contrôle | électrique | |
| gamme de mouvement de Z-direction | 100 millimètres | |
| Tour de lentille objective | 5-hole a motorisé | |
| Illumination | source lumineuse | LED |
| Sortie maximum | 840mW | |
| Dimensions | 590×390×540mm | |
| Poids total | 45kg | |
| Alimentation d'énergie | AC220V/50Hz | |
| Environnement de travail | La température 10℃~35℃, minutes de /15 <1>de ℃ de gradient de température, humidité 30~80%, vibration <0> | |
| Avis : *1 utilisent une lentille 20x pour mesurer un bloc témoin d'étape de norme de 4.7µm à une température ambiante de 20±2°C. *2 mesurent le bloc témoin d'étape de norme de 4.7µm à une température ambiante de 20±2°C avec une lentille de 20 fois ou de plus. *3 utilisent une lentille de 20 fois ou de plus de mesurer l'échantillon standard de réticule à une température ambiante de 20±2°C. |
||
| Caractéristiques de lentille objective | Ouverture numérique modèle de la distance de fonctionnement de champ visuel (W.D.) (N.A.) | |
| μm 10,6 millimètre 0,25 de 10X 1600×1600 | ||
| μm 1,3 millimètre 0,40 de 20X 800×800 | ||
| μm 0,38 millimètre 0,75 de 50X 320×320 | ||
| μm 0,21 millimètre 0,90 de 100X 160×160 | ||
| Liste de configuration de produit Configuration standard : |
1) Principal organisme A64.5401 | |
| 2) Étape DE X/Y de déplacement : étape automatique de déplacement | ||
| 3) Ordinateur de marque | ||
| 4) Module de calibrage de système | ||
| 5) Manette | ||
| 6) Logiciel Confocal de microscope | ||
| 7) Boîte d'accessoires d'instrument | ||
| 8) Manuel de produit | ||
| 9) Certificat de produit, carte de garantie | ||
| Facultatif | 1) Lentille objective de mesure : 20×, 50×, 100× | |
| 2) Table d'aspiration de vide (pour des gaufrettes de semi-conducteur) : 6 pouces, 8 pouces ; | ||
| 3) Module de épissure de fonction de mesure de mesure automatique (exige l'appui de matériel) | ||
|
Exécutez les caractéristiques extérieures de topographie telles que les découpes extérieures, défauts de surface, portez les états, les états de corrosion, la planéité, la rugosité, le caractère onduleux, les lacunes de pore, les tailles d'étape, les déformations de recourbement, et les conditions de traitement de divers produits, composants et matériaux. Mesure et analyse. |
|
▶4,1 haute précision et répétabilité élevée Le système de mesure composé de capteurs à faible bruit de représentation, composants optiques performants et encodeurs, et excellents algorithmes de la reconstruction 3D pour assurer la mesure qui répond aux normes ; enraciné dans l'industrie de mesure depuis de nombreuses années, la même ligne du design industriel et le niveau de traitement supérieur pour assurer à un haut niveau la répétabilité de mesure. |
|
▶4,2 balayage parallèle ultra-rapide Le balayage parallèle multipoint du profil utilisant le disque poreux améliore considérablement l'efficacité de travail comparée au plan de balayage unique traditionnel du galvanomètre, et le balayage peut être accompli en seulement quelques secondes. |
|
▶4,3 adaptabilité forte Le système de mesure a une dynamique ultra-haute pour différentes poses d'échantillon, complexité de surface, et réflectivité extérieure.
▶4,4 logiciel intégré de mesure et d'analyse 1) La mesure et l'analyse sont actionnées sur la même interface, sans commutation, les données de mesure est automatiquement comptée, et la fonction de la mesure rapide en lots est réalisée ; 2) La fenêtre visuelle est commode pour que les utilisateurs observent le processus de balayage en temps réel ; 3) Combiné avec la fonction automatique de mesure du calibre fait sur commande d'analyse, il peut automatiquement compléter le procédé de mesure et d'analyse de multi-région ; 4) Les cinq modules fonctionnels de l'analyse géométrique, de l'analyse de rugosité, de l'analyse de structure, de l'analyse de fréquence, et de l'analyse de fonction sont complets ; 5) l'analyse d'Un-clic, analyse multifichier, les articles librement combinés d'analyse sont sauvées comme calibres d'analyse, analyse d'un-clic des échantillons en lots, et l'analyse de données et les fonctions statistiques de diagramme sont fournies ; 6) Plus de 300 2D et paramètres 3D peuvent être mesurés selon ISO/ASME/EUR/GBT et d'autres normes. |
|
▶4,5 manette de précision La manette intégrée avec la fonction de l'ajustement de déplacement dans les trois directions de X, de Y, et de Z peut rapidement terminer les travaux de pré-mesure tels que la traduction d'étape et la focalisation de Z-direction.
▶4,6 conception anti-collision Évitez d'endommager la lentille objective et l'objet pour être dû mesuré à la collision provoquée par Misoperation.
▶4,7 microscope entièrement électrique Équipé d'une série de pièces électriques, ces pièces électriques étroitement reliées fonctionnent ensemble pour rendre l'observation rapide et simple. |
Nos produits sont vendus dans le monde entier. Vous pouvez être assuré de l'ensemble du processus de nos produits.
