--Chambre de traitement en verre : ∮100mm ; 130mm haut.
--Taille d'étape de spécimen : ∮40mm (tasses de spécimen de prise 6)
--Taille d'or de cible :
∮58mm*0.12mm (épaisseur)
--Détection de vide : Mesure de Pirani
--Protection de vide : PA 20 avec la valve d'inflation de micro-échelle
--Gaz moyen : L'argon ou air avec l'entrée d'air spéciale de gaz d'argon et gaz réglant dans la micro-échelle.
| L'ion A50.7011 pulvérisent le dispositif d'enduction | |
| Puits à dépression | Diamètre 100mm*H130mm |
| Étape de spécimen | Diamètre 40mm (tasses de spécimen de prise 6) |
| Cible de pulvérisation d'or | Diamètre 58mm*0.12mm (épaisseur) |
| Mesure de vide | Mesure de Pirani |
| Pompe à vide | Palette Pums de rotation : 2L/s |
| Point de protection de vide | 20Pa avec la valve d'inflation de micro-échelle |
| Gaz fonctionnant | L'argon ou air avec l'entrée d'air spéciale de gaz d'argon et gaz réglant dans la micro-échelle |
| Tension de pulvérisation | 1.6KV |
| Poids brut | 48kg |
| Conformité | CE |
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