| Fonction principale du logiciel A63.7080, A63.7081 | ||
| Mise en service intégrée haute tension | Filament automatique marche/arrêt | Régulation du décalage potentiel |
| Réglage de la luminosité | Réglage électrique à central | Luminosité automatique |
| Réglage du contraste | Réglage de la lentille d'objectif | Mise au point automatique |
| Ajustement du grossissement | Démagnétisation objective | Élimination automatique de l'astigmatisme |
| Mode de balayage de la zone sélectionnée | Réglage électrique de la rotation | Gestion des paramètres du microscope |
| Mode de balayage ponctuel | Réglage du déplacement du faisceau d'électrons | Affichage en temps réel de la taille du champ de numérisation |
| Mode de balayage de ligne | Réglage de l'inclinaison du faisceau d'électrons | Réglage de la lentille du pistolet |
| Balayage de surface | Réglage de la vitesse de numérisation | Entrée multicanal |
| Surveillance de l'alimentation haute tension | Centrage de la balançoire | Mesure de la règle |
| MEB | A63.7069 | A63.7080 | A63.7081 |
| Résolution | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV(ESB) |
1.5nm@30KV(SE) 3nm@30KV(ESB) |
1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV(SE) 2.5nm@30KV(ESB) |
| Grossissement | Grossissement réel négatif 8x ~ 300000x | Grossissement réel négatif 8x ~ 800000x | Grossissement réel négatif 6x ~ 1000000x |
| Canon à électrons | Cartouche de filament de tungstène pré-centrée | Pistolet à émission de champ Schottky | Pistolet à émission de champ Schottky |
| Tension | Tension d'accélération 0 ~ 30KV, réglable en continu, ajuster l'étape 100V @ 0-10Kv, 1KV @ 10-30KV | ||
| Aperçu rapide | Fonction d'image de vue rapide à une touche | N / A | N / A |
| Système d'objectif | Lentille conique électromagnétique à trois niveaux | Lentille conique électromagnétique multi-niveaux | |
| Ouverture | 3 ouvertures d'objectif en molybdène, réglables à l'extérieur du système de vide, pas besoin de démonter l'objectif pour changer l'ouverture | ||
| Système de vide | 1 pompe turbo moléculaire 1 pompe mécanique Vide de salle d'échantillonnage> 2.6E-3Pa Aspirateur de salle de pistolet à électrons> 2.6E-3Pa Contrôle du vide entièrement automatique Fonction de verrouillage sous vide Modèle en option : A63.7069-LV 1 pompe turbo moléculaire 2Pompes mécaniques Vide de salle d'échantillonnage> 2.6E-3Pa Aspirateur de salle de pistolet à électrons> 2.6E-3Pa Contrôle du vide entièrement automatique Fonction de verrouillage sous vide Faible videPlage 10 ~ 270 Pa pour un changement rapide en 90 secondes pour l'ESB (LV) |
1 ensemble de pompe ionique 1 pompe turbo moléculaire 1 pompe mécanique Vide de salle d'échantillonnage> 6E-4Pa Aspirateur de salle d'armes à électrons> 2E-7 Pa Contrôle du vide entièrement automatique Fonction de verrouillage sous vide |
1 pompe ionique à pulvérisation 1 pompe composée d'ions getter 1 pompe turbo moléculaire 1 pompe mécanique Vide de salle d'échantillonnage> 6E-4Pa Aspirateur de salle d'armes à électrons> 2E-7 Pa Contrôle du vide entièrement automatique Fonction de verrouillage sous vide |
| Détecteur | SE: Détecteur d'électrons secondaire sous vide poussé (avec protection du détecteur) | SE: Détecteur d'électrons secondaire sous vide poussé (avec protection du détecteur) | SE: Détecteur d'électrons secondaire sous vide poussé (avec protection du détecteur) |
| ESB: Semi-conducteur 4 Segmentation Détecteur de rétrodiffusion Modèle en option : A63.7069-LV ESB(LV): Semi-conducteur 4 Segmentation Détecteur de rétrodiffusion |
Optionnel | Optionnel | |
| CCD :Caméra infrarouge CCD | CCD :Caméra infrarouge CCD | CCD :Caméra infrarouge CCD | |
| Étendre le port | 2 ports d'extension sur la salle d'échantillonnage pour EDS, BSD, WDS, etc. |
4 ports d'extension sur la salle d'échantillonnage pour ESB, EDS, BSD, WDS, etc. |
4 ports d'extension sur la salle d'échantillonnage pour ESB, EDS, BSD, WDS, etc. |
| Stade de l'échantillon | Stade 5 Axes, 4Auto+1ManuelContrôler Plage de voyage : X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90°(Manuel) Fonction d'alerte et d'arrêt tactile |
5 axesAuto MilieuOrganiser Plage de voyage : X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Fonction d'alerte et d'arrêt tactile Modèle facultatif : A63.7080-M5 axesManuelOrganiser A63.7080-L5 axesAuto GrandOrganiser |
5 axesAuto GrandOrganiser Plage de voyage : X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Fonction d'alerte et d'arrêt tactile |
| Spécimen maximum | Dia.175mm, Hauteur 35mm | Dia.175mm, Hauteur 20mm | Dia.340mm, Hauteur 50mm |
| Système d'images | Résolution maximale de l'image fixe réelle 4096x4096 pixels, Format de fichier image : BMP (par défaut), GIF, JPG, PNG, TIF |
Résolution maximale de l'image fixe réelle 16384x16384 pixels, Format de fichier image : TIF (par défaut), BMP, GIF, JPG, PNG Vidéo : Enregistrement automatique de la vidéo numérique .AVI |
Résolution maximale de l'image fixe réelle 16384x16384 pixels, Format de fichier image : TIF (par défaut), BMP, GIF, JPG, PNG Vidéo : Enregistrement automatique de la vidéo numérique .AVI |
| Logiciel | Station de travail PC système Win 10, avec logiciel d'analyse d'image professionnel pour contrôler entièrement le fonctionnement du microscope SEM, spécification de l'ordinateur pas moins que Inter I5 3,2 GHz, mémoire 4G, écran LCD IPS 24", disque dur 500G, souris, clavier | ||
| Affichage de photos | Le niveau d'image est riche et méticuleux, montrant un grossissement en temps réel, une règle, une tension, une courbe de gris | ||
| Dimension & Lester |
Corps de Microscope 800x800x1850mm Table de travail 1340x850x740mm Poids total 400Kg |
Corps de Microscope 800x800x1480mm Table de travail 1340x850x740mm Poids total 450Kg |
Corps de Microscope 1000x1000x1730mm Table de travail 1330x850x740mm Poids total 550Kg |
| Accessoires optionnels | |||
| Accessoires optionnels | A50.7002Spectromètre à rayons X à dispersion d'énergie EDS A50.7011Coucheuse par pulvérisation ionique |
A50.7001Détecteur d'électrons à rétrodiffusion BSE A50.7002Spectromètre à rayons X à dispersion d'énergie EDS A50.7011Coucheuse par pulvérisation ionique A50.7030Motoriser le panneau de commande |
A50.7001Détecteur d'électrons à rétrodiffusion BSE A50.7002Spectromètre à rayons X à dispersion d'énergie EDS A50.7011Coucheuse par pulvérisation ionique A50.7030Motoriser le panneau de commande |
| A50.7001 | Détecteur d'ESB | Détecteur de rétrodiffusion à quatre segments à semi-conducteur ; Disponible dans les ingrédients A+B, Morphology Info AB; Échantillon disponible Observer sans pulvériser d'or ; Disponible dans Observez les impuretés et la distribution à partir de la carte en niveaux de gris directement. |
| A50.7002 | EDS (détecteur de rayons X) | Fenêtre en nitrure de silicium (Si3N4) pour optimiser la transmission des rayons X à faible énergie pour l'analyse des éléments légers ; Excellente résolution et leur électronique avancée à faible bruit offrent des performances de débit exceptionnelles ; La petite empreinte offre une flexibilité pour garantir une géométrie idéale et des conditions de collecte Aata ; Les détecteurs contiennent une puce de 30 mm2. |
| A50.7003 | EBSD (diffraction rétrodiffusée par faisceau d'électrons) | l'utilisateur peut analyser l'orientation cristalline, la phase cristalline et la micro-texture des matériaux et les performances des matériaux connexes, etc. optimisation automatique des paramètres de la caméra EBSD lors de la collecte de données, faire une analyse interactive en temps réel pour obtenir un maximum d'informations toutes les données ont été marquées avec une étiquette de temps, qui peut être consultée à tout moment haute résolution 1392 x 1040 x 12 Vitesse de balayage et d'indexation : 198 points/sec, avec Ni comme standard, sous la condition de 2~5nA, il peut assurer le taux d'indexation ≥99 % ; fonctionne bien dans des conditions de faible courant de faisceau et de basse tension de 5kV à 100pA précision de la mesure de l'orientation : meilleure que 0,1 degré Utilisation du système d'index triplex : pas besoin de s'appuyer sur une définition de bande unique, indexation facile d'une mauvaise qualité de motif. base de données dédiée : base de données spéciale EBSD obtenue par diffraction électronique : >400 structure de phase Capacité d'indexation : il peut indexer automatiquement tous les matériaux cristallins de 7 systèmes cristallins. Les options avancées incluent le calcul de la rigidité élastique (rigidité élastique), du facteur Taylor (Taylor), du facteur Schmidt (Schmid), etc. |
| A50.7010 | Machine de revêtement | Coque de protection en verre : ∮250 mm ;340 mm de haut ; Chambre de traitement du verre : ∮88mm;140 mm de haut, ∮ 88 mm ;57 mm de haut ; Taille de l'étape du spécimen : ∮40 mm (max) ; Système de vide : pompe moléculaire et pompe mécanique ; Détection du vide : Pirani Gage ; Vide : meilleur que 2 X 10-3 Pa ; Protection contre le vide : 20 Pa avec valve de gonflage microscopique ; Mouvement du spécimen : Rotation du plan, précession de l'inclinaison. |
| A50.7011 | Coucheuse par pulvérisation ionique | Chambre de traitement du verre : ∮100 mm ;130 mm de haut ; Taille de l'étape du spécimen : ∮40 mm (contient 6 tasses à spécimen) ; Taille cible dorée : ∮ 58 mm x 0,12 mm (épaisseur) ; Détection du vide : Pirani Gage ; Protection contre le vide : 20 Pa avec valve de gonflage microscopique ; Gaz moyen: argon ou air avec entrée d'air spéciale pour gaz argon et régulation du gaz à l'échelle microscopique. |
| A50.7012 | Revêtement par pulvérisation ionique d'argon | L'échantillon a été plaqué de carbone et d'or sous vide poussé ; Table d'échantillon rotative, revêtement uniforme, taille des particules d'environ 3 à 5 nm ; Aucune sélection de matériau cible, aucun dommage aux échantillons ; Les fonctions de nettoyage ionique et d'amincissement ionique peuvent être réalisées. |
| A50.7013 | Sécheur de point critique | Diamètre intérieur : 82 mm, longueur intérieure : 82 mm ; Plage de pression : 0-2000 psi ; Plage de température : 0°-50° C (32°-122° F) |
| A50.7014 | Lithographie par faisceau d'électrons | Basé sur le microscope électronique à balayage, un nouveau système de nano-exposition a été développé ; La modification a conservé toutes les fonctions Sem pour créer une image de largeur de ligne à l'échelle nanométrique ; Le système Ebl modifié largement appliqué dans les dispositifs microélectroniques, les dispositifs optoélectroniques, les dispositifs Quantun, la R&D sur les systèmes microélectroniques. |
| A63.7080, A63.7081 Ensemble de consommables standard | |||
| 1 | Filament à émission de champ | Installé dans le microscope | 1 pc |
| 2 | Tasse d'échantillon | Dia.13mm | 5 pièces |
| 3 | Tasse d'échantillon | Dia.32mm | 5 pièces |
| 4 | Ruban conducteur double face en carbone | 6mm | 1 paquet |
| 5 | Graisse sous vide | 10 pièces | |
| 6 | Tissu sans poils | 1 Tube | |
| sept | Pâte à polir | 1 pc | |
| 8 | Boîte d'échantillons | 2 Sacs | |
| 9 | Coton-tige | 1 pc | |
| dix | Filtre à brouillard d'huile | 1 pc | |
| A63.7080, A63.7081 Ensemble d'outils et de pièces standard | |||
| 1 | Clé hexagonale intérieure | 1,5 mm ~ 10 mm | 1 jeu |
| 2 | Pince à épiler | Longueur 100-120mm | 1 pc |
| 3 | Tournevis à fente | 2*50mm, 2*125mm | 2 pièces |
| 4 | Tournevis cruciforme | 2*125 mm | 1 pc |
| 5 | Nettoyer le tuyau d'aération | Dia.10/6,5 mm (diamètre extérieur/diamètre intérieur) | 5m |
| 6 | Purger le réducteur de pression | Pression de sortie 0-0.6MPa | 1 pc |
| sept | Alimentation de cuisson interne | 0-3A CC | 2 pièces |
| 8 | Alimentation de l'ASI | 10kVA | 2 pièces |
Nos produits sont vendus dans le monde entier. Vous pouvez être assuré de l'ensemble du processus de nos produits.
